В работе Хонига приведены значения давлений насыщенных паров для большинства элементов, взятые из различных источников, применительно к вакуумной технике. Для удобства в табл. 2.4 сведены данные для металлов, наиболее часто используемых в условиях вакуума в чистом виде или в виде сплавов. Данные представлены в виде значений температур, соответствующих определенному уровню давления паров различных металлов.

При комнатной температуре лишь некоторые металлы имеют давление насыщенных паров выше 10^-9Па. Поэтому практически не существует ограничений по использованию в вакуумной технике любых металлов при комнатной: температуре, хотя cледует избегать металлов, содержащих в качестве примесей натрий или калий. Кроме того, кадмий обладает высоким давлением паров, и поэтому в высоковакуумных системах недопустимо использовать детали с кадмиевым покрытием.

С повышением температуры и у других металлов давление паров становится выше 10^-9 Па, и поскольку вакуумную систему обезгаживают обычно при температурах порядка 450 °С, то такие металлы, как цинк, свинец и олово, не следует применять. Если деталь установки эксплуатируется при более высоких значениях температур, например в качестве катода при термоэлектронной эмиссии, то круг подходящих металлов еще больше сужается.

Даже вокруг вольфрамового нитевидного катода ионизационного манометра, работающего при 2000 °С, существует облако атомов вольфрама, давление в котором составляет 10^-7 Па, что может ограничивать пороговое давление до 10^-10 Па. Тем не менее для давлений вплоть до 10^-11 Па существует широкий выбор доступных и экономичных металлов, давления паров которых достаточно низки даже при повышенных температурах.