Как уже указывалось, в условиях сверхвысокого вакуума необходимо применять металлические прокладки вместо резиновых или фторопластовых, так как сверхвысоковакуумные системы обезгаживаются прогревом до 400° С и выше. При давлениях порядка 10^-10 мм рт. ст. даже без всякого прогрева резина и металлические части вентиля интенсивно выделяют пары и газы. Большое распространение получили металлические уплотнители, в которых используются пластические деформации металла. Деформируемыми металлами обычно служат медь, алюминий и никель. Перед сборкой эти металлы подвергают отжигу.

Второй металл, работающий совместно с деформируемым, сталь Х18Н10Т (коррозионностойкая) или стали 40Х, 20Х, 45Х (качественные). На рис. 429 приведены схемы таких уплотнений.

Уплотнение по схеме на рис. 429, с можно применять для давлений не ниже 5- 10^-8 мм рт. ст. при диаметре трубопровода от 8 до 250 мм. Соединение можно многократно нагревать до 450° С. Клапан 2 изготовляют из отожженной меди или алюминия, седло 1 — из стали.

Чистота обработки кромок седла не ниже 8-го класса точности, а конической поверхности клапана — не ниже 7-го. Уплотнение по схеме на рис. 429, б можно применять при давлении не ниже 1 • 10^-8 мм рт. ст. и диаметре трубопровода от 20 до 150 мм. Прогрев допускается до 500° С. Уплотнение по схеме на рис. 429, е можно применять для агрессивных сред при небольшом проходном сечении до давления 1•1O-7 мм рт. ст.

На рис. 430 показаны сверхвысоковакуумные прогреваемые цельнометаллические вентили фирмы Эдварде (Англия). Такие вентили с пропускной способностью соответственно 5,70 и 15 л/с можно применять с медной или никелевой прокладкой, которая при закрытии вентиля деформируется из-за врезания в нее острых кромок седла клапана. Вентили изготовляют из коррозионностойкой стали; они имеют натекание порядка 10^-10 мм рт. ст.л/с. Основание и корпус клапана соединены при помощи прокладки из золотой проволоки диаметром 0,5 мм. Вентили можно нагревать в открытом состоянии до 350° С и в закрытом — до 300° С. Такие вентили применяют для химических производств.

На рис. 431 показан сверхвысоковакуумный вентиль фирмы Ульвак (Япония). Такие вентили предназначены для работы при давлениях ниже 10^-8 мм рт. ст.

Цельнометаллический вентиль можно прогревать до 450° С, натекание составляет 10^-10 мм рт. ст.-л/с. Прокладки изготовляют из алюминиевой фольги или из золотой проволоки. Максимальная пропускная способность до 450 л/с. Вентиль можно нагревать до 450° С в открытом и до 150° С в закрытом положении.

С одной и той же прокладкой можно проводить 200 циклов открытия и закрытия при комнатной температуре и 100 циклов при необходимости повторного прогрева.

Схема прогреваемого затвора для сверхвысоковакуумных лабораторных установок, управляемых внешним магнитом, приведена на рис. 432. Уплотнение в таких затворах обеспечивается несмазанными шлифами 3, которые могут быть плоскими, коническими или сферическими. С помощью показанного устройства можно изолировать участки с разницей в давлении, не превышающей 10^-8 мм рт. ст.