Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Измерение очень низких давлений |
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура | |||||||
Cтраница 2 из 5
Начиная с 1950 г. конструкция манометра Байярда — Альперта непрерывно совершенствуется. Так, Ноттингэм [31] высказал ту точку зрения, что в основной конструкции (см. фиг. 52) могут происходить потери ионов через открытые торцы цилиндрической сетки. Как он показал, этого можно избежать, повысив тем самым чувствительность, если закрыть цилиндр торцевыми пластинами, находящимися под потенциалом сетки. Сильное влияние на характеристики оказывает электрический потенциал стекла, так как в этом манометре в противоположность прежнему манометру с массивным цилиндрическим коллектором разряд «видит» стекло и поэтому может испытывать влияние его потенциала. Чтобы предотвратить это явление, Ноттингэм [31] предложил окружить электродную систему дополнительной цилиндрической сеткой1). В ряде конструкций, особенно в разработанных фирмой «Филипс», в целях повышения стабильности их работы на внутреннюю поверхность стекла наносится металлический проводящий слой, который можно заземлить. Картер и Лекк [32] рассмотрели возможные нестабильности в работе манометра без таких мер предосторожности. Как они показали, поверхность стекла стабилизируется в одном из двух равновесных состояний: когда его потенциал приблизительно равен потенциалу либо катода, либо анода. В первом случае устанавливается равновесие между числом электронов и числом положительных ионов, попадающих на стекло, а во втором (при более высоком потенциале, когда электроны бомбардируют стекло с большей энергией) можно говорить о равновесии между первичными электронами, попадающими на поверхность, и вторичными электронами, уходящими с поверхности. К счастью, переходы из одного устойчивого состояния в другое сравнительно редки, но, когда они внезапно возникают, это заметным образом сказывается на характеристиках манометра. Чтобы приблизить нижний предел измерений к наименьшему достижимому давлению, ван Оостром [33] уменьшил диаметр коллектора ионов до 4 мк, что уже близко к практическому пределу. Работа с коллектором в виде очень тонкой проволоки затрудняется тем, что, как раньше отмечал Альперт[34], с уменьшением диаметра до величины ниже 100 мк чувствительность сильно падает. Ван Оостром подтвердил, что потеря чувствительности обусловлена дрейфом ионов вдоль оси через торцы сетки. Этот дрейф особенно возрастает в случае тонкой проволоки из-за ослабления радиального электрического поля в основной области ионизации вследствие роста градиента потенциала вблизи проволоки. Поэтому ионы ускоряются по направлению к коллектору слабее и вероятность их выхода через торцы сетки вследствие дрейфа вдоль оси возрастает. Ван Оостром снял ряд характеристик, показывающих, что при тщательном подборе электродных потенциалов и введении торцевых экранов можно создать манометр с тонкой проволокой, обладающий чувствительностью порядка 10 тор-1. На фиг. 54, заимствованной из его работы, иллюстрируется важная роль торцевых экранов: ток на коллектор ионов возрастает при повышении положительного потенциала этих экранов. Для практики, вероятно, наиболее удобен режим, когда торцевые экраны находятся под потенциалом сетки; небольшое улучшение в работе манометра, которое достигается при более высоком их потенциале, не окупает связанных с этим усложнений. На фиг. 55 показано, что при значительном росте отрицательного потенциала коллектора по сравнению с обычным (20—50 в) ионный ток сильно возрастает. Подобное повышение эффективности собирания положительных ионов при увеличении отрицательного потенциала обусловлено, очевидно, ростом радиальной составляющей электрического поля и, следовательно, ускорения положительных ионов к осевому коллектору. Для работы этого манометра ван Оостром рекомендует такой режим: потенциал сетки и торцевых экранов +60 в, смещение коллектора —210 в (оба потенциала указаны по отношению к катоду). При таком режиме чувствительность по азоту оказывается равной 12 тор~1. К моменту опубликования этой работы нижняя граница измеряемых давлений, обусловленная рентгеновским излучением, не была определена, и было лишь известно, что она лежит ниже 2 • 1O-11 тор.
Редхед [114] видоизменил манометр Байярда — Альперта, добавив модуляторный электрод в виде прямой проволоки, расположенной параллельно коллектору ионов внутри цилиндрической сетки поблизости от ее витков. Если на этот электрод попеременно подавать то потенциал земли, то потенциал сетки, ток положительных ионов на заземленный коллектор модулируется на 30—40%. На величине фонового тока изменение потенциала модулятора не сказывается. Таким образом, измеряя только модулированную компоненту коллекторного тока, можно увеличить отношение ионного тока к фоновому, обусловленному рентгеновским излучением. На практике это отношение удается
увеличить в 10 раз. Применив манометр с модулятором, Ред-хед [115] обнаружил, что фоновый ток в ионизационном манометре заметно возрастает, если сетка плохо очищена. Этот эффект особенно заметен в случае загрязнения сетки кислородом и окисью углерода. Например, минутная работа манометра (с молибденовой сеткой) в кислороде при давлении 10~7 тор увеличивает фоновый отсчет с 6 • 10-11 до 2,4•1O-8 тор. После прекращения контакта сетки с кислородом фоновый отсчет медленно убывает и через 60 час возвращается к первоначальному уровню. Окись углерода увеличивает фоновый отсчет лишь в 10 раз и на более короткое время. Водород и азот действуют едва заметно. Редхеду удалось показать, что это явление протекает именно на сетке, а не на коллекторе и обусловлено усиленной эмиссией сеткой фотонов или возбужденных нейтральных частиц. Существуют, конечно, и другие методы устранения влияния рентгеновского излучения, например прямое экранирование [11]. Клопфер [35] описал манометр с надежным экранированием. Устройство этого манометра показано на фиг. 56, где схематически изображено поперечное сечение коробчатой электродной системы (аналогичной конструкции омегатрона, описанного в последней главе). Электроды изготовлены из не-
ржавеющей стали, внутренняя коробочка — ионизационная камера—имеет вид куба с ребром 15 мм. Щели расположены так, что при наличии аксиального магнитного поля электроны нигде не попадают на стенки внутренней камеры. Таким образом, коллектор ионов / экранирован от всех источников рентгеновых лучей, но может собирать все положительные ионы, образующиеся в ионизационной камере. Оптимальные значения потенциалов электродов указаны на схеме. Впрочем, чувствительность не очень сильно зависит от этих потенциалов и имеет тот же порядок величины, что и у обычного ионизационного манометра. Пока еще прямых измерений фонового тока в этом манометре не проводилось. Известно лишь то, что при наинизшем давлении, достигнутом при градуировке манометра (10-11 тор), отклонений от линейности не наблюдалось. Этот манометр имеет еще и то преимущество перед манометром Байярда — Альперта, что в нем коллектор ионов полностью экранирован электрически, что облегчает измерение очень малых токов.
|
= | |