Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Измерение очень низких давлений - Верхний предел измеряемых давлении |
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура | |||||||
Cтраница 4 из 5 Верхний предел измеряемых давлений у манометров любой конструкции, в том числе и у манометра Байярда — Альперта, достигается тогда, когда вторичные токи, создаваемые ионизацией газа, приближаются по порядку величины к первичному электронному току. Исследователи в большинстве своем согласны с тем, что нарушение линейности начинается при давлении, лежащем между 10-3 и 10~2 тор. Дэшман и Фаунд в своей работе [51 сообщали, что вид градуировочной характеристики в этой области зависит от величины электронного тока. По их оценке, верхняя граница линейного участка характеристики соответствует давлению, равному приблизительно 5•1O-2 тор при электронном токе 0,5 ма или 10~3 тор при электронном токе 15 ма. Эта оценка была подтверждена в более поздних работах; по-видимому, сдвиг верхней границы обусловлен усилением влияния пространственного заряда с ростом электронной эмиссии. По этой причине при измерении давления около или выше 10~3 тор электронную эмиссию следует снижать до наименьшего возможного значения, доводя, во всяком случае, до уровня не более 0,1 ма, как это рекомендуют Ноттингем и Торней [38] или . Шульц [39]. Шульц и Фелпс [40], подробно исследовавшие работу ионизационных манометров у верхнего предела измерений, назвали три ограничивающих фактора и на этой основе предложили ряд конструкций манометров, наиболее подходящих для работы при высоких давлениях.
По их данным, такими ограничивающими факторами надо считать следующие: 1. Уменьшение чувствительности вследствие того, что ток вторичных электронов и ионов, образующихся при ионизации, начинает составлять значительную долю первичного электронного тока. В ионизацию эти вторичные электроны и ионы вносят лишь малый вклад, но, конечно, учитываются стабилизатором эмиссии. 2. Чувствительность может повыситься при высоком давлении из-за роста эффективности улавливания ионов коллектором. При низких давлениях газа возможна значительная потеря ионов вследствие их аксиального дрейфа из области разряда. При высоких давлениях вероятность таких потерь убывает, потому что упругие столкновения между ионами и молекулами газа препятствуют движению ионов в аксиальном направлении. 3. Изменения могут происходить из-за изменения средней длины свободного пути и средней энергии в пучке электронов вследствие неупругих соударений между электронами и молекулами при высоких давлениях. Шульц и Фелпс разработали манометры, в которых действие перечисленных трех факторов сведено к минимуму, причем эти манометры сохраняют линейность характеристик и при высоких давлениях. На фиг. 57 изображена простейшая модель такого манометра. Она состоит из прямолинейного проволочного катода, натянутого между двумя параллельными прямоугольными пластинками, одна из которых находится под положительным потенциалом и служит анодом, а другая — коллектором ионов. Действие первого из перечисленных факторов сведено к минимуму путем уменьшения чувствительности S, поскольку ясно, что давление, при котором этот фактор начинает играть важную роль, обратно пропорционально чувствительности. Влияние второго фактора ослабляется благодаря тому, что площадь поверхности коллектора ионов намного больше площади поверхности катода. И наконец, третий фактор не оказывает большого влияния потому, что испускаемые катодом электроны движутся к коллектору по прямым линиям. Чувствительность этого манометра по азоту и углекислому газу приблизительно равна 0,6 тор-1 Для этих газов отклонение от линейности не превышает 10% при давлениях ниже 0,6 тор. Конечно, чувствительность этого манометра весьма мала, так что им нельзя пользоваться для измерения давлений ниже 10~6 тор из-за ограничений, накладываемых рентгеновским излучением, но зато у него сильно повышен верхний предел измеряемых давлений. Интересно отметить, что произведение чувствительности и наибольшего рабочего давления у этого манометра и у обычного манометра совпадают по порядку величины. Электронный ток обычно получают с проволочного катода из чистого или торированного вольфрама. В последнее время появились манометры с оксидными катодами, в которых окисел нанесен на нагреватель, сделанный в виде металлической ленты. Как и следовало ожидать, выбор материала сильно сказывается на рабочих характеристиках манометра. |
= | |