Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Измерение очень низких давлений |
Измерение и контроль вакуума - Контрольно-измерительная аппаратура | |||||||
Cтраница 5 из 5
В частности, оксидные катоды сильно отличаются от катодов из чистого или торированного вольфрама. К сожалению, недостаточная информация об оксидных катодах не позволяет провести детального сравнения. При рассмотрении работы ионизационного манометра, особенно при его работе в малых вакуумных системах, необходимо учитывать химические реакции взаимодействия между накаленным катодом и молекулами газа. Этот вопрос рассматривается несколько ниже. Другими важными факторами, которые необходимо учитывать при выборе катода, надо считать следующие: 1) стабильность тока эмиссии при изменении состава газа или давления в вакуумной системе и 2) срок службы катода. 1. Стабильность тока эмиссии. Работа выхода, а следовательно, и эмиссия при данной температуре сильно зависят от адсорбции на поверхности катода. Особенно сильно влияет кислород: следы кислорода в системе в виде газа или паров, содержащих кислород (например, воды), способны очень быстро «отравить» катод. Это явление более сильно выражено в случае оксидного катода и сравнительно слабо в случае чистого вольфрама. Обычно эти реакции обратимы, так что после откачки кислорода из системы эмиссия довольно быстро восстанавливается [41, 42]. При парциальном давлении 10~6 тор кислород способен снизить величину эмиссии оксидного катода на целый порядок, тогда как в случае чистого вольфрама — всего лишь на 10%. Небольшое количество углеводородов снижает работу выхода и тем самым усиливает эмиссию при неизменной температуре. И в данном случае влияние загрязнений сильнее сказывается на работе оксидного катода, чем вольфрамового. 2. Срок службы катода. В процессе работы катод становится тоньше и наконец разрушается из-за испарения металла или вследствие окисления. Скорость испарения вольфрама при повышении температуры очень быстро возрастает, и поэтому самая горячая часть катода утончается в первую очередь. Такие перегретые участки растут, и когда первоначальный диаметр уменьшается на 10%, катод перегорает. Те катоды, которые разрушаются по этой причине, заметно утончаются лишь в непосредственной близости от места разрыва. Наоборот, скорость взаимодействия горячего вольфрама с кислородом зависит от температуры не очень сильно. В связи с этим катоды, подвергшиеся действию кислорода, разрушаются равномерно по всей длине нагретой части. Поэтому они могут утончаться до половины, третьей части и даже еще меньшей доли первоначального диаметра до разрыва. У катода обычных размеров, скажем, диаметром 0,13 и длиной 25 мм, работающего при температуре 2400° К и токе эмиссии 5 ма, скорость испарения при отсутствии загрязнений не велика, так что срок их службы достигает 14 000 час. Почти постоянное воздействие кислорода сильно сокращает срок службы. (При данных значениях давления и температуры кислород разрушает вольфрам приблизительно в 5 раз быстрее, чем водяной пар, так что воздух и водяной пар при одном и том же давлении по своему разрушающему воздействию на горячие вольфрамовые катоды эквивалентны друг другу.) Срок службы катода, когда он определяется скоростью окисления, можно довольно просто подсчитать. Из кинетической теории газов известно число молекул, сталкивающихся с поверхностью за единицу времени; кроме того, как показал Ленгмюр [43, 44] (см. табл. 11), 10% таких молекул кислорода реагирует с поверхностью вольфрама при 2400° К с образованием трех-окиси вольфрама WO3, которая затем испаряется. Таким образом, если принять, что катод перегорает после уменьшения диаметра на 30% (это близко к нижнему пределу значений, встречающихся на практике), то из этой простой теории следует, что срок службы катода (час) равен 0,054 dip, где d — первоначальный диаметр проволоки (мм), а р—давление воздуха (тор). В рассмотренном выше примере при d = 0,3 мм срок службы получается равным 7010 час в случае работы в воздухе при давлении 10~6 тор1). Скорость разрушения проволоки из торированного вольфрама в 3—4 раза меньше при действии кислорода и по крайней мере на два порядка ниже из-за испарения. Таким образом, для катода из торированного вольфрама наиболее вероятной причиной перегорания является окисление. Для катода с оксидным покрытием внезапное повышение давления, даже до атмосферного, не приводит к его разрушению. (Впрочем, это его преимущество не имеет, по-видимому, большого практического значения. Для манометра с оксидным катодом схема стабилизации эмиссии почти всегда необходима, и совсем нетрудно к ней добавить схему вакуумной блокировки, защищающую катод при случайном повышении давления.) Вейнрейх и Бличер [45, 46] изготовили манометры с. катодами из иридия и родия, покрытых двуокисью тория. При рабочей температуре 14500C срок службы катода, определяемый разрушением покрытия, не меньше 1000 час. В случае иридиевой подложки при эмиссии 200 ма/см2 был достигнут срок службы около 10 000 час. При этом не было обнаружено заметного сокращения срока службы при повторных выдержках на воздухе при атмосферном давлении, а эмиссия не исчезала даже в кислороде вплоть до давлений 10-2 тор. К сожалению, чистый вольфрам, дающий более стабильную эмиссию, не обладает столь большим сроком службы, как тори-рованный или оксидный катод. Катоды из торированного вольфрама и оксидные катоды годятся лучше всего для манометров, электронный ток которых автоматически стабилизируется (см. п. 9). (Небольшие изменения в распределении температуры, вызываемые изменением температуры катода, сказываются лишь в редких случаях.) Если электронный ток устанавливается вручную, то лучше ставить катод из чистого вольфрама, поскольку он дает более стабильную эмиссию в условиях изменяющегося давления.
|
= | |