Кроме диффузионных насосов разработаны и выпускаются типовые высоковакуумные агрегаты. На рис. 335 приведена схема вакуумного агрегата фирмы Херауэс (ФРГ). Агрегат предназначен для вакуумного отжига, напыления, вакуумной плавки, для ядернофизических установок и т. п. Предельное давление, создаваемое агрегатом, 10^-6 мм рт. ст. В состав агрегата входит диффузионный насос производительностью 3000 л/с (мощность 1,2 кВт) и форвакуумный масляный насос производительностью 45 м3/ч (потребляемая мощность 1,5 кВт). Управление агрегатом автоматическое в зависимости от вакуума.

В табл. 62 приведены характеристики отечественных вакуумных агрегатов на базе паромасляных насосов, в табл. 63 — на базе парортутных насосов. В состав высоковакуумного агрегата кроме основного диффузионного насоса и форвакуумного вращательного масляного насоса входит вспомогательный паромасляный насос, так называемый бустерный. По устройству бустерные насосы незначительно отличаются от высоковакуумных.

Таблица 61

Значения параметров для насосов марок

Продолжение табл. 62

Таблица 64

 

 

 

Рис. 336. Бустерный насос БН-15000: 1 — кипятильник; 2 — паропровод; 3 — эжектор; 4 — маслоотражатель; 5 — маслоулавливающая ловушка; 6 — корпус насоса

Изменение характеристик бустерного насоса по сравнению с высоковакуумным происходит благодаря изменению конструкции сопел и повышению давления пара в паропроводе при увеличении мощности подогрева и использовании соответствующих сортов масел. Как уже указывалось, производительность вращательных масляных насосов сильно падает в области малых давлений и становится практически равной нулю при давлениях порядка 10^-3 мм рт. ст., т. е. при давлениях, характерных для плавки, восстановления, сушки, дистилляции и т. д.

Основные характеристики отечественных бустерных насосов приведены в табл. 64. На рис. 336 и 337 показаны бустерные насосы БН-15000 и БН-2000. Пар дросселируется и поступает в каждую ступень с соответствующим понижением давления.

Рис. 338. Зависимость скорости откачки паромасляных бустерных насосов по воздуху от впускного давления, в мм рт. ст.: 1— насос БН-З; 2 — насос БН-1Б00; 3 — насос БН-2000; 4 -насос БН-4500

Благодаря этому удельный расход мощности здесь составляет 3 вт/(л./c), а в насосе БН-4500 5 вт/(л./c). На рис. 338 приведены характеристики основных отечественных бустерных насосов. Бустерные насосы применяют там, где имеется значительное выделение газов при давлениях 10^-1 — 1 мм рт. ст., а именно для откачки индукционных и дуговых металлургических печей, для сушки и пропитки электрических конденсаторов, для дистилляции, для металлизации изделий, для откачки систем сверхзвуковых аэродинамических труб.