Корпус клапана, показанного на рис. 6.11, изготовлен из нержавеющей стали, а уплотнение подвижного штока обеспечивается с помощью сильфона. В случае уплотняющих прокладок из витона А такая конструкция допускает прогрев до 200°С. Клапаны этого типа обычно используются для перекрывания трубопроводов диаметром 15—35 мм, но могут применяться и в трубопроводах большего диаметра (до 150 мм). Для перекрытия трубопроводов больших сечений лучше использовать затворы, которые обладают рядом преимуществ, в том числе намного меньшим «паразитным» вакуумным объемом и неизменностью направления газового потока.

Одна из конструкций проходного затвора шиберного типа показана на рис. 6.12. Сначала шток надвигает шибер на горловину канала, а затем последующим усилием уплотняет его. Механизм уплотнения основан на выталкивании стальных шариков из углублений при перемещении штока. Этот метод был разработан фирмой VAT (Vacuum-Apparate Technik), специализирующейся на производстве таких затворов. Уплотнение обеспечивается с помощью кольцевой прокладки круглого сечения, изготовленной из витона А, а уплотнение штока (в нагреваемом варианте затвора) —с помощью сильфонов.

Рис. 6.12. Вакуумный затвор шиберного типа.

1 — кольцевая прокладка круглого сечения; 2— уплотняющий шибер; 3 — пружина; 4 — стальные шарики; 5 — фиксаторная канавка; 6 — опорная тарель; 7 — шток привода.

В основе конструкций большинства клапанов, используемых для создания дозированных потоков газа при давлениях, превышающих 10^-6 Па, лежит принцип плавного изменения проводимости с помощью иглы конической формы. Форма иглы (угол при вершине) определяет диапазон рабочих расходов. Коническая игла и седло изготовляются из твердого металла, обычно из нержавеющей стали; в некоторых конструкциях седло покрывается слоем мягкого металла для обеспечения более высокой герметичности. В некоторых клапанах игла снабжена плоским посадочным пояском с кольцевой прокладкой круглого сечения из витона А.