В более крупных клапанах вместо мембран используются сильфоны, которые обеспечивают значительно больший ход конуса и соответственно более высокую проводимость. Для больших проходных отверстий система конус — седло не годится, и в этом случае обычно используются клапаны с уплотнением по заостренному кольцевому выступу седла. Многие фирмы, выпускающие вакуумное оборудование, изготовляют такие клапаны стандартных размеров, подсоединяемых с помощью фланцев типа ISO (для трубопроводов диаметрами 16, 35, 63 мм и т. д., см. табл. 6.1). Тарель изготавливается из меди либо из более твердого материала, например нержавеющей стали или даже сапфира. В последнем случае заостренный выступ или нижняя поверхность тарели покрывается тонким слоем золота.

Рис. 6.14. Сверхвысоковакуумный угловой клапан.

1 — заостренный кольцевой выступ седла; 2 — медная тарель; 3—головка штока; 4 — отсоединяемый фланец; 5 — вакуумное уплотнение; 6 — сильфон.

 Поскольку заостренный выступ выдавливает на медной тарели канавку, важно чтобы механизм подачи тарели обеспечивал точное совмещение этой канавки с выступом при каждом запирании клапана.

Устройство такого сверхвысоко-вакуумного клапана показано на рис. 6.14. В большинстве конструкций клапанов предусмотрена возможность замены тарели после ее износа, но лишь в некоторых заменяется седло или осуществляется повторная механическая обработка заостренного кольцевого выступа.

Все эти клапаны, несмотря на конструктивные различия, обладают достаточно близкими характеристиками. Так, все клапаны допускают нагрев до 4500C в открытом положении, многие из них могут нагреваться и в закрытом положении (некоторые также до 450 ⁰С). Вообще говоря, 'клапаны с тарелями, изготовленными из твердых материалов, допускают больший нагрев по сравнению с медными (450 ⁰C против ЗОО-400 °С), так как медь после отжига становится более мягкой. Кроме того, если в клапан при нагреве попадает кислород (например, в случае кла пана для напуска в систему атмосферного воздуха), медная тарель может окисляться.

Поэтому вместо обычной меди нередко используют высокотемпературный медный сплав, имеющий примерно такие же механические свойства, как у не-отожженной меди. Для запирания клапана требуется довольно высокий крутящий момент, особенно в случае тарели из твердого материала (несколько Н-м). Поэтому может возникнуть проблема смазки механизма привода липания при нагревании до высоких температур. Если клапан должен прогреваться в открытом состоянии, то механизм привода целесообразно отделять от клапана на время нагрева; в некоторых конструкциях предусмотрены специальные меры, облегчающие эту операцию.