Свойства вакуума |
Особенности вакуумных систем |
контрольно-измерительная аппаратура |
Течеискатели |
Вакуумные материалы |
Уплотнители и и смазки |
Вакуумные вентили и переходники |
Запорные устройства |
Способы соединения вакуумных систем |
Общие принципы |
Подбор вакуумных насосов |
Масляные средства откачки |
Вакуумометрические приборы |
Вакуумные установки |
Сорбционные средства откачки |
Физические явления в вакууме |
Клапаны |
Элементы вакуумных конструкций - Запорные устройства вакуумных систем | |||||||||
Cтраница 6 из 7 Как и в случае углового цельнометаллического клападля предотвращения его зана, в затворах обычно применяется уплотнение по заостренному кольцевому выступу. При использовании медного шибера существует упомянутая выше проблема точного совмещения выступа с канавкой на шибере. С этой точки зрения герметичность шибера, изготовленного из твердого металла и покрытого тонким слоем золота или серебра, намного эффективнее. Если такое покрытие наносится на заостренный кольцевой выступ, то центровка положения шибера не столь важна, но в этом случае требуется значительно большее уплотняющее усилие. Механизм привода может быть таким же, как и в клапанах с уплотняющей кольцеобразной прокладкой круглого сечения. Однако вследствие значительных усилий, необходимых для герметичного уплотнения затвора, возникают трудности с обеспечением относительно низкого трения в механизме привода, поскольку использование вакуумных смазок (жидких или твердых) в этом случае недопустимо. Существуют конструкции затворов, в которых эта проблема решена с помощью системы пневматического привода для уплотнения ш ибера. Примером такой конструкции является затвор, выпускаемый фирмой Granville — Phillips Corp., в котором относительно тонкий шибер вначале устанавливается на место, а затем поджимается с помощью сжатого воздуха, нагнетаемого в пространство между двумя коаксиальными сильфо-нами (рис. 6.16). Более сложная конструкция затвора с двумя шиберами описана в работе [14]. Каждый из шиберов по отдельности уплотняется посредством пневмопривода сложной конструкции на своем посадочном месте. Уплотнение осуществляется выступом из мягкого металла. Пространство между шиберами откачивается с помощью дополнительного насоса, чтобы минимизировать перетекание газа через такой затвор. Дополнительным достоинством такого затвора с пневматическим приводом является постоянство уплотняющего усилия в процессе эксплуатации затвора. Фирмой Varian Associates был разработан затвор нового типа, в котором решено большинство из рассмотренных проблем [15]. Устройство этого затвора показано на рис. 6.17. Тонкая металлическая заслонка конической формы, края которой покрыты слоем золота, поджимается к седлу с помощью специального клинового устройства. В результате происходит деформация металла по краю заслонки с образованием герметичного уплотнения (см. показанную на рис. 6.17 в увеличенном масштабе область контакта).
Благодаря конической форме заслонки и тому, что уплотнение осуществляется вдоль ее кромки, к затвору предъявляются менее жесткие требования по центровке заслонки по сравнению с методом уплотнения по кольцевому выступу. Кроме того, масса этого затвора намного меньше. Обычно температура нагрева затворов ниже, чем для угловых клапанов; фирмы-изготовители не рекомендуют проводить нагрев затворов выше 300 °С. |
= | |