Поскольку в угловых цельнометаллических клапанах достигается высокая точность посадки тарели на седло, практически любой клапан, при использовании микрометрического привода, может эксплуатироваться в качестве регулятора потока газа. Так как для этого достаточен небольшой ход рабочего органа, наиболее подходящей конструкцией является клапан с мембранным уплотнением, который обладает минимальным «паразитным» объемом. Для достижения большей точности при повороте головки клапана ее снабжают удлинительной рукояткой.

Такие клапаны должны обеспечивать высокоточное и воспроизводимое регулирование газового потока, хотя не все фирмы-изготовители указывают величины допусков. Часто требуется создание на клапане постоянного перепада давления, что может быть легко достигнуто в клапанах с регулируемой проводимостью.

Рис. 6.17. Затвор фирмы Varian Associates.

1 — клин привода; 2 — металлическая заслонка конической формы; 3 — седло.